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Bedampfung
Zur Beschichtung von Werkstücken im Ultrahochvakuum stehen mehrere Aufdampfanlagen mit thermischer Verdampfungs- und Argon-Ionen-Sputterquellen zur Verfügung. Die Schichtdickenmessung erfolgt „in situ“ mit Schwingquarzmikrowaagen.Anwendungsbeispiele:
• | Herstellung von Schichtdickenstandards (z.B. Gold oder Silber auf unterschiedlichen Substraten wie Glas, Keramik- (z.B. MACOR) oder Polymerwerkstoffen (z.B. PMMA)) |
• | Anfertigung von Multilayer Schichten mit jeweils definierter Schichtdicke |
• | Simultanes Verdampfen unterschiedlicher Stoffe (Metalle, Legierungen, Salze etc.) |