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Bedampfung

Zur Beschichtung von Werkstücken im Ultrahochvakuum stehen mehrere Aufdampfanlagen mit thermischer Verdampfungs- und Argon-Ionen-Sputterquellen zur Verfügung. Die Schichtdickenmessung erfolgt „in situ“ mit Schwingquarzmikrowaagen.
Aufdampfmasken können in der firmeneigenen Werkstatt nach kundenspezifischen Vorgaben auf einer CNC-gesteuerten Dreh- und Fräsmaschine gefertigt werden.

Anwendungsbeispiele:

•  Herstellung von Schichtdickenstandards (z.B. Gold oder Silber auf unterschiedlichen Substraten wie Glas, Keramik- (z.B. MACOR) oder Polymerwerkstoffen (z.B. PMMA))
•  Anfertigung von Multilayer Schichten mit jeweils definierter Schichtdicke
•  Simultanes Verdampfen unterschiedlicher Stoffe (Metalle, Legierungen, Salze etc.)